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日新高温CVD系列 真空气氛管式炉
日新高温CVD系列 真空气氛管式炉

参考价格

面议

型号

CVD系列

品牌

日新高温

产地

安徽

样本

暂无
合肥日新高温技术有限公司

会员

|

第6年

|

生产商

工商已核实

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核心参数
  • 非金属电热元件:

    其他
  • 金属电热元件:

    其他
  • 烧结气氛:

    其他
  • 温控精度:

    ±1.5℃
  • 最高温度:

    1650℃
  • 额定温度:

    RT~1600℃
标签:

日新高温管式炉

日新高温CVD系列

国产管式炉

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>应用领域

CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长、科研实验用石墨烯的生长等等;也可适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护气氛下热处理。


>主要特点

采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅钼(碳棒或原装进口电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。


>技术指标

设备型号
CVD(D)-06/60/3CVD(Z)-06/30/1CVD(G)-07/50/2CVD(G)-09/50/1
上限温度1050°C1350°C1650°C/1000°C1650C
使用温度RT-1000°C850-1300°C1000-1600°C1000-1600°C
控制精度+1.5°C+1.5°C+1.5°C+1.5°C
温区个数3个1个2个1个
加热区长度600mm300mm500mm(300mm/200mm)500mm
炉管尺寸Φ60(外径)×1400mmΦ60(外径)×1000mmΦ70(外径)×1450mmΦ90(外径)×1450mm
炉管材料石英管刚玉管刚玉管刚玉管
发热元件进口电阻丝电阻丝/硅碳棒电阻丝/硅碳棒硅钼棒
装机功率4.5kW

3kW/8kW

8kW10kW
可选部件/V真空系统:单级机械泵/机械泵+扩散泵机组
/Q气氛系统:浮子流量计/进口质量流量计/国产质量流量计
备注

以上设备系统具备冷态极限真空6.67x10-2Pa接口条件;
其他特殊工艺要求请在订货时说明。


>搜索关键词

真空气氛管式炉、真空管式炉、气氛管式炉、CVD气氛管式炉、CVD管式炉、CVD管式炉厂家、气相沉积法、管式炉推荐、管式炉厂家推荐、真空管式炉推荐、高温真空管式炉、高温真空炉、日新高温CVD系列真空气氛管式炉、CVD(D)-06/60/3低温型管式炉、CVD(Z)-06/30/1中温型管式炉、CVD(Z)-06/60/2双温区管式炉、CVD(G)-07/50/2高温型管式炉、CVD(G)-09/50/1单温区高温炉、CVD(G)-06/50/1高温单温区管式炉、1050℃低温CVD管式炉、1300℃中温CVD管式炉、1650℃高温CVD管式炉、石英炉管CVD系统、99刚玉炉管CVD设备、U型硅钼棒加热CVD炉、硅碳棒加热高温管式炉、进口Kanthal电阻丝加热CVD炉、FEC陶瓷纤维加热器管式炉、单级机械泵真空CVD系统、扩散泵高真空CVD机组、浮子流量计控制CVD炉、质量流量计精密控气CVD系统、单温区CVD管式炉、双温区CVD设备、三温区CVD管式炉、±1℃控温精度CVD炉、±1.5℃控温精度CVD系统、碳纳米管研制专用CVD炉、晶体硅基板镀膜CVD设备、纳米氧化锌结构生长CVD系统、石墨烯制备CVD管式炉、氮化硅镀膜CVD设备、陶瓷基片导电率测试CVD炉、MLCC陶瓷电容器气氛烧结炉、金属材料扩散焊接真空炉、保护气氛热处理CVD系统、轻质纤维制品保温CVD炉、可拆卸式三面密封CVD设备、冷态极限真空6.67×10⁻²Pa CVD系统、进口多段智能程序温控CVD炉、科研实验用CVD管式炉、高校材料科学CVD设备。

创新点

采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛,可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用U型硅钼(碳棒或原装进口电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。

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