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产品介绍
YRTP快速退火炉是一款多功能的真空气氛烧结炉,既可以用于材料的快速升降温退火,也可用于化学气相沉积(CVD)法,在镍或铜箔上制备石墨烯的制备,稍加调整,一机多用,被广泛的应用各研究院所。
加热系统采用环形红外短波加热器,*快升温速率可达300℃/S,测温采用精准的S型贵金属热电偶直接测量式样表面,使加热工件(式样)的温区更加均匀准确,控制界面采用大尺寸触摸屏,傻瓜智能式操作,可预设置十条温度曲线。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式,使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃,经过长期多次的各种试样试验验证,已被应用于半导体器件研发及生产等领域,广泛满足离子注入后的快速退火,欧姆接触快速合金,硅化物合金退火,氧化物生长,铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积及其它快速热处理工艺的要求。
技术参数
产品型号 | YRTP-1100 |
炉体结构 | 双层壳体结构,高精度移动平台 |
额定温度(℃) | 1100 |
使用温度(℃) | ≤1000 |
温场均匀性(℃) | ±3℃ |
温度状态工艺时间(S) | 2~100(100~1000℃) |
*快升温速(℃/S) | 200 |
降温速率(℃/S) | 1~200(通氮气,速率更快) |
温度控制模式 | 智能模糊全闭环PID控制 |
操作方式 | 触摸屏控制 |
超高温状态检测 | 软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路 |
触摸屏尺寸 | 7"LED |
**功率(kW) | 15 |
额定电压 | AC380~400V,50HZ(60Hz定制) |
传感器类型 | S型单铂铑 |
反应腔室内径尺寸 | Φ100X200 |
式样有效空间 | 4" |
真空系统 | 选配 |
预留真空抽口 | KF16 |
进出气接口 | Φ6卡套 |
尺寸重量 | 长1000×深600×高600mm;净重:约50kg |
可根据客户要求定制!
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