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复合氮化硼导电陶瓷镀膜蒸发舟/镀膜坩埚
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性能特点 Performance
1.为解决镀膜溅射爬埚问题及镍、铜腐蚀问题而独立开发的新型配方产品。
2.采用先进的配方工艺,优化组分,化学稳定性好,电阻率稳定。
3.抗氧化性能好,抗金属铝,镍,铜金等腐蚀。
4.**使用温度1800度。

1. Independently developed new formula products in order to solve the problems of sputtering pot and nickel and copper corrosion.
2. Adopt advanced formulation technology, optimize components, have good chemical stability and stable resistivity.
3. Good oxidation resistance, resistant to aluminum, nickel, copper and gold corrosion.
4. The maximum using temperature is 1800 ℃.

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