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特性：
专为半导体行业设计
非金属，流体通道内无O型圈
渗流设计
无金属固定件，如拉杆或支架
有集成脉动均衡器可选
100级净室内组装
技术数据：
机加工的塑料设计，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）两种材质
优化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技术
五种尺寸：从10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）
NPT接口
**耐受温度：200° C（390°F）
精确的流体输送
性能数据：
**流量：200lpm（52gpm）
**吸程：干吸4m（13.1'），湿吸9m（29.5'）
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