钻头镀膜、铣刀镀膜、模具镀膜

建筑玻璃镀膜和汽车玻璃镀膜用光学镀膜设备

磁控溅射连续式镀膜生产线

光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪镀制的反射膜

增透膜和吸收膜

舱体尺寸：1200×1500、1400×1950、1600×1950、1800×1950

电源类型：直流磁控电源、中频磁控电源、高压离子轰击电源

圆柱靶：直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶

舱体结构：立式开门

真空系统：滑阀泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵（可选装：分子泵、深冷泵）

气路系统：1-4路MFC

极限真空：6×10－4pa（空载）

抽气时间：空载大气抽至5×10－3pa小于13分钟

旋转方式：6轴、8轴、9轴公自转，变频无级调速

控制方式：全自动、触摸屏+PLC