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HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置
HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置

参考价格

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型号

HORIBA PD-Xpadion

品牌

HORIBA

产地

上海

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HORIBA(中国)

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PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的**一代产品。基于创新的模块化平台设计,PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合,允许用户扩展 PD Xpadion 系统,不仅包括颗粒检测,还包括通过拉曼分析进行颗粒表征,膜膜厚度和均匀性,以及膜健康监测工具。

产品特色

高机械强健度:平均故障间隔时间高达 1500 个小时;可以保证98%以上的正常运行时间。

高灵活性:可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描;兼容 ASML, NIKON,CANON 等一系列厂商的光罩盒;可以支持不同的光掩膜承载手段。

高性能:可以实现光掩膜三个面的扫面(玻璃面,薄膜面以及图形面);单面的扫面时间仅需要 4 分钟;标配 0.5 um 的精度;良好的误检过滤算法。

高模块化:可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备;可以连接颗粒去除系统(见下图);可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。


image.png

核心参数

精度规格:0.5 um/0.35 um/0.1 um

吞吐量:12 min/片 (上下两面扫描)

环境光罩尺寸:5寸-9寸

正常运行时间:98%

技术指标

image.png

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