参考价格
1万元以下型号
MSP-8in品牌
产地
日本样本
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森泽MSP-8in
国产常用器具/玻璃耗材
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该装置是一种利用磁控靶进行金属涂层的设备。可用于处理像8英寸晶圆这样的大面积样品，以及同时处理多个样品。
MSP-8in的靶极电极能够沿着靶金属表面产生多层同心的磁场，通过这些磁场来捕获电子，从而提高用于使靶金属溅射的等离子体离子密度。磁场的强度经过精心设计，以确保从靶心到边缘处，沉积在靶上的金属膜厚度保持一致。
该产品包含设备主体、1块靶金属（请指定种类）、旋转泵以及SUS材质的柔性软管。
超大容积 Φ230mm 样品腔体：可同时装载整片 8 英寸晶圆 + 数十片小型试样，兼顾大批量晶圆预处理与多品类科研试样同步检测；
精密针阀氩气稳压系统：精准控制腔内氩气分压，稳定等离子体，提升贵金属膜纯度，延长靶材使用寿命。
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