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Filgen 锇等离子体镀膜机（Os Plasma Coater），采用**直流辉光放电等离子体 CVD 法，专为扫描电子显微镜（SEM）样品导电薄膜制备设计，彻底解决传统溅射、金蒸镀的颗粒性、热损伤、绕射差等行业痛点。
设备在真空腔室内引入四氧化锇（OsO₄）气体 / 萘烷气体，通过辉光放电形成等离子体，在负辉光相区域内于试样表面瞬间附着堆积，形成非晶质（无定形）锇薄膜，无颗粒性、无热损伤、绕射效果优异，可获得**清晰的 SEM 观测图像。
产品系列涵盖铱薄膜专用型、锇 / 萘等离子体重叠膜两用型，支持超薄膜镀膜、亲水处理、深样品机构等可选配件，适配各类复杂应用场景；新增触摸面板操作，自动化流程，任何人都可安全、高重现性地完成镀膜作业。
对比传统方法，本设备实现四大核心突破：
无颗粒性：非晶质薄膜，彻底消除溅射涂层的颗粒干扰，还原样品真实形貌
优异绕射性：蒸气气化后成膜，**覆盖凹凸结构、孔洞，无充电、无阴影
无热损伤：常温制膜，无加热步骤，避免金蒸镀对热敏样品的热损伤与裂纹
高安全性与耐用性：锇膜熔点高达 2700℃，坚固耐电子束，适配 FIB 等强应用场景
适用于生物、材料、医药、纳米研究等领域 SEM 样品前处理，是电镜实验室的专业配套设备。
专利直流等离子体 CVD 法，负辉光相区域镀膜，形成无颗粒非晶质锇薄膜
常温制膜无热损伤，完美保护热敏样品，避免传统金蒸镀的裂纹问题
优异绕射性，蒸气气化成膜，彻底覆盖凹凸结构，无充电、无阴影
自动化操作，高重现性，支持多型号与定制化配件，适配全场景需求
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