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| UHT | 温度 max. /˚C | 装料尺寸 /mm | 加热元件 | 真空值 /mbar |
|---|---|---|---|---|
| XGRAPHIT | 3,000 | Φ 300 H 600 | 石墨/CFC | 1 |
| XGRAPHIT | 2,200 | Φ 800 H 1,500 | 石墨/CFC | 1 |
| XVAC | 2,200 | Φ 800 H 1,500 | 钼/钨 | 10⁻⁵ |
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