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SiC长晶炉专用特种石墨热场材料
SiC长晶炉专用特种石墨热场材料

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型号

SiC长晶炉专用特种石墨热场材料

品牌

华锦新材

产地

山东

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青岛华锦新材料科技发展有限公司

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概况

华锦新材生产的长晶炉用石墨加热器、石墨坩埚、石墨导流环等专用石墨制品,可以满足不同部件的使用要求。


产品优势

高密度、高强度、微细结构、材料均质性、批次稳定性、优异的抗硅蒸气腐蚀性。

特种石墨材料在碳化硅长晶炉中扮演着关键角色。

1、它应具有出色的耐高温性能,能够在长晶过程中承受极高的温度而保持稳定,确保长晶环境的可靠性。

2、其应具有较高的热导率,可以有效地传导热量,有助于维持炉内温度的均匀性,这对晶体生长的质量和一致性至关重要。

3、长晶炉用特征石墨材料还具有良好的化学稳定性,不易与其他物质发生反应,能在复杂的长晶条件下保持其性能。

4、它的机械强度较高,能够承受长晶炉运行过程中的各种应力和压力,保证设备的长期稳定运行。

在碳化硅长晶中,优质的特种石墨材料的使用有助于提高晶体的生长效率和良率,为碳化硅产业的发展提供了重要的支撑。


性能参数

牌号体积密度(g/cm³)热导率W/(m*k)孔径(μm)孔隙率(%)抗弯强度(MPa)抗压强度(MPa)灰分ppm灰分ppm(纯化)
HJ-1≥1.90≥1200.3~0.6≤12.8≥80≥100≤150≤3
HJ-1≥1.93≥1200.3~0.6≤12.8≥90≥110≤150≤3


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