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Omega 9880 无图形晶圆缺陷检测设备
Omega 9880 无图形晶圆缺陷检测设备

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型号

Omega 9880 无图形晶圆缺陷检测设备

品牌

清软微视

产地

浙江

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清软微视(杭州)科技有限公司

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·无图形晶圆衬底/外延无损检测设备:
·自研高解析度成像系统,集成明场(含DIC)/暗场/PL等通道,对衬底、外延缺陷均可清晰成像;
·PL光路高效率激发、多通道采集、高精度成像,晶格缺陷成像更清晰、细节更丰富;
·可选背检工位,全方位检测衬底或外延片背部和侧边宏观缺陷;
·具备白点检测、Hazemap输出、自定义检测规则、单轮测试多DY2分析输出等特色功能;
·支持衬底、外延、芯片全制程段缺陷叠图,提供*全面的缺陷失效分析能力。

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