气体种类:
氧气、氮气、氩气、氨气等气压:
50Pa射频源:
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等离子清洗机VP-R5采用低温真空石英腔体等离子清洗装置**号:CN201821507327.8,真空腔体石英玻璃材质,腔体容积5升,射频频率13.56MHz,功率160W,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于导电碳布、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA等离子体去胶处理。
等离子清洗机VP-R5提供两路工作气路,真空度数字显示,实时观察腔体真空状态,操作简易,采用触摸屏智能化控制系统,搭载了真空等离子处理仪控制软件(2021SR1026389),触摸屏上一键自动启动等离子体,触摸屏上控制真空泵的启动或关闭,触摸屏上自动识别腔门开或关,等离子体处理结束,自动泄压,性能可靠,真空等离子行业主动承诺质保2年。
广州善准科技有限公司专注于真空等离子清洗机VP-R系列(腔体低温)、全自动真空等离子处理仪VP-A系列(配置MFC)、旋转型真空等离子处理仪VP-T系列(粉末处理专用)和手套箱专用真空等离子清洗机VP-G系列(腔体放置手套箱内)的研究、开发和制造。善准科技已成功注册了“SUNJUNE"、“SUNJUNE PLASMA"两个商标,拥有10项技术与软件著作,使用善准真空等离子处理仪参与做实验的多篇高质量论文发表在《Nature》、《Energy & Environmental Science》和《Advanced Functional Materials》等期刊;善准科技产品在芯片制造、柔性显示材料、智能穿戴设备、微流控芯片、医疗器械、二维材料、固态电解质等领域获得广泛应用,深度参与中国智造和中国科研,为善准用户的发展壮大贡献自己的绵薄之力。
善准科技等离子清洗机VP-R5满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于导电碳布、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA等离子体去胶处理。