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≤2300℃烁科热工粉体焙烧炉
烁科热工碳化钽涂层CVD炉
国产粉体焙烧炉
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半导体装备的石墨或陶瓷碳化钽涂层生产,具有送粉均匀、涂层均匀致密、涂层与基底结合良好、自动化程度高、可一键启动等特点。
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