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全自动台阶仪JS2000C/3000C品牌
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泽攸科技全自动台阶仪JS2000C/3000C
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产品介绍
泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。
JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描，将微观轮廓的垂直位移转化为电信号，结合高灵敏度传感器与信号处理算法，实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统，通过精密调节探针与样品间的接触压力，既避免了对软质材料的损伤，又确保了测量过程的稳定性。此外，设备搭载的摄像头实时成像系统，可同步观察样品区域与探针尖端的位置关系，辅助用户精确定位特征结构，显著提升测量效率。
作为国产科学仪器的突破性成果，JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断，凭借高性价比与本地化服务优势，成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。
特点
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
应用范围
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲ 各式薄膜等应力测量
▲ 3D扫描成像
▲ 计划任务和多点扫描
▲ 批量测试晶圆，批量处理数据等
系统组成
▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)
▲ JS300B
选配品
▲ 高度校准标样
▲ FFU模块
▲ 静电消除模块
▲ E84接口
技术参数
软件界面
扫描图
18nm样品
68um样品
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