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适用于高端电子元件的前工序生产--电极的印刷和烘干。
采用卷对卷的薄膜传送方式,高精度的相机线扫方式采集数据,保证无间隙检测膜卷缺陷问题,实现传送、丝印、烘干、收卷的功能。
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PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统
高斯计
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