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EVG GEMINI晶圆键合系统
EVG GEMINI晶圆键合系统

参考价格

面议

型号

EVG GEMINI晶圆键合系统

品牌

亚科电子

产地

北京

样本

暂无
亚科电子(香港)有限公司

高级会员

|

第1年

|

生产商

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产品简介:

EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台,实现了高程度的集成度和自动化,适用于大型量产。

主要特点及参数:

·**支持12英寸(300mm)晶圆

·*多兼容4个键合腔室和6个预处理腔室

·兼容底部对准、红外对准以及SmartView对准

·可选配模块:

低温等离子体活化

晶圆清洗

涂胶模块

UV固化模块

烘烤/冷却模块

对准验证模块


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产品质量

10分

售后服务

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10分

性价比

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