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石墨托盘
技术
1)用于LED外延片加工石墨顶板;
2)挡板结构内部晶片边缘休息;
3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;
4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。
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