生产能力:
根据具体情况而定空气速度:
常规晶圆传输:0.5~1.5m/s输送能力:
晶圆搬运效率与真空输送能力不同输送距离:
正多边形腔体结构理论输送距离可达 50~100米工作原理:
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粉体工程由于场地安装和客户需求的不一致性,通常需要依据实际情况定制辅助设备和辅件,在这苏州天启方面拥有深厚的专业知识和丰富的经验,可以依据客户需求满足客户需要,设计生产的产品,实现产品功能化和多样化。
可服务于半导体材料前处理环节的设备:
材料输送:
LX螺旋输送机:用于硅粉、碳化硅颗粒的密闭输送(防污染、防静电);
真空上料系统:实现高纯度半导体材料(如砷化镓)的洁净投料。
混合工艺:
HM高速混合机:混合半导体浆料(如导电银胶、光刻胶),支持温控与防静电设计。
定制化方案:
非标设备设计:适配半导体产线特殊工况(如超净间负压环境、高精度计量)。
核心认证:
ISO9001质量体系认证;
出口德国、日本的非标设备。
关键性能:
输送精度:±0.5%(LX螺旋输送机);
混合均匀度:CV值≤3%(HM高速混合机);
洁净等级:Class 1000(真空上料设备)。
非标设备设计:适配半导体产线特殊工况
一、方案背景氢氧化锂(LiOH)作为锂电池关键原料,具有强碱腐蚀性(UN 1813,8类危险品),对输送设备密封性、防腐蚀性及自动化控制要求极高。苏州天启依托15年粉体工程经验,提供从料仓到生产线的全
2025-04-30
氢氧化锂粉末作为一种重要的锂盐产品,由于能降低高镍三元材料的烧结温度和在提高产品性能方面有着较大的优势,受到众多电池厂商的推崇,除此之外还在制药、化工、航空航天等领域有着重要的作用。 目前生
全球粉体处理行业近年来呈现持续增长态势,中国作为制造大国,粉体设备需求年增长率约达8%-12%。然而,传统粉体处理工艺面临三大核心挑战:一是效率与精度矛盾:人工操作导致的配比误差、批次质量波动,制约高