接触电阻率测量仪

这款紧凑型仪器测量成品太阳能电池的接触电阻率，手指线电阻，手指宽度和手指高度，或者测试结构。

通过在所有轴上电动化，可以通过按一个按钮来创建所有这些方法的地图。

用于测量薄扩散层的薄层电阻和晶圆电阻率的四点探头，使得TLM-SCAN 成为一种低成本，快速，高质量的四点探针贴图仪。

使操作更简单的功能：

自动位置校正以获得**接触质量

盖子关闭时自动启动

自动采样编号

软件探头识别

精确的导航与欢乐棒和显微镜相机

通过点击图像来探测定位和重新测量单点

一个样品上多个TLM测试图案的批处理模式

序列模式通过按一个按钮来测量接触电阻率和手指几何图形的映射