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SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。波长范围200-900nm。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，分辨率0.1nm，测量时间5-15秒，并且折射率测量可达0.005%。
| 波长范围: | 380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选) |
| 光学分辨率: | 4.0 nm FWHM |
| 测量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: | 70° |
| 膜厚: | 单透明膜1-5000 nm |
| 光点尺寸: | 2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选) |
| 采样时间: | 3-15s (*小) |
| 动态记录: | 3 seconds |
| 机械公差 (height): | +/- 1.5 mm， 角度 +/- 1.0° |
| 膜层数: | 至多32层 |
| 参考: | 不用 |
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