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SPS-2200手动探针台
SPS-2200手动探针台

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产地

美国

样本

暂无
上海载德半导体技术有限公司

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美国MicroXact为专业的高品质探针台生产商,迈锐(MicroXact)公司探针台有手动探针台、半自动探针台、低温探针台、三维磁体探针台等。手动探针台的主要型号:SPS-2000, SPS-2200。

技术规格:

技术规格

SPS-2000

SPS-2200

样品尺寸

不大于 150mm

不大于200mm

样品台XY移动范围

155mmx155mm

200mmx200mm

样品台XY移动分辨率

5um

5um

样品台XY移动轴承

精确横轧辊

精确横轧辊

台面移动

12.7mm

12.7mm

台面调整

粗调及细调,1.5mm重现性

粗调及细调,1.5mm重现性

台面平整度

<12.7um (150mm台面)

<12.7um (200mm台面)

台面刚性

<50um (4.5公斤承重)

<50um (4.5公斤承重)

真空卡盘

多区域真空吸附

多区域真空吸附

卡盘平整度

+/-13um

+/-13um

卡盘击穿电压

>500V

>500V

卡盘绝缘性

>1GW

>1GW

卡盘调节

360度粗调,+/-6度细调

360度粗调,+/-6度细调

显微镜

高品质立体显微镜,放大倍率:3.5X~180X,工作距离:200mm

多种高倍显微镜;

高品质立体显微镜,放大倍率:3.5X~180X,工作距离:200mm

多种高倍显微镜;

电学接口

BNC, Triax or Banana plug

BNC, Triax or Banana plug

尺寸

78cm x 80cm x58cm (W x D x H)

128cm x 122cm x 92cm (W x D x H)

重量

85kg ~ 95kg

85kg ~ 100kg

样品快速装载选件

不包括

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