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适用于科研及生产线；
基片从上面载入/取出；
**可支持的尺寸：直径为300mm的基片或者300mm×300mm的基片；
**温度高达1200摄氏度；
升温速率为40K/sec；
降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃**降温速率控制在30K/sec；
PID处理控制器，程序段无限制，每程序段50步，带USB2.0的接口。包含UniSoft 软件，与微软Windows操作系统兼容。通过该软件，通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
不锈钢冷腔室壁优点
工艺重复性高；
高冷却速率，低记忆效应；
高温计和热电偶控制；
快速数字PID温度控制器；
超清洁无污染的环境；
无金属和无交叉污染
应用范围：
离子注入/接触退火；
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
SiAu，SiAl，SiMo等炼制合金；
低K电介质；
后植入退火处理；
铜浆烧制；
电阻浆料烧制；
太阳能电池晶片键合工艺；
LTO钛酸锂材料制备；
晶体化，致密化；
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