Stage-Base™ 450

主动振动及运动隔离系统

为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备的**挑战的要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。Stage-Base™450是新一代的集成音圈技术的主动硬装压电陶瓷振动消除系统。只有TMC可以提供这种带有用于运动平台振动隔离的音圈电机的独特先进低频串行隔振技术。

Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常高效的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而极大的提高工具产量。新一代主动控制系统在STACIS iX的基础上，包括TMC的STACIS技术，应用压电陶瓷驱动器和在串行结构中添加刚性的悬架来实现* da化的振动隔离。这使得地板的隔振频率从0.6Hz开始，并且在响应阶段力时显著减小了初始偏差，这在业内是****的。由于用于快速设置调节时间来进一步增加生产量的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的先进的主动振动和运动隔离系统。

特点：

1、包含独特的STACIS技术

2、采用可扩展的压电陶瓷致动器

3、负载的位置可重复性在微米范围内

4、可安装的框架设计

5、6自由度

6、可选的音圈电机前馈或反馈

7、主动隔振从0.6赫兹开始

8、快速的调节时间来响应平台运动

9、没有气浮支撑

10、通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器

11、简单、鲁棒性强，性价比高