自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5是奥地利Alicona公司研发生产的集微型三坐标测量和表面形貌测量于一体的光学测量系统。

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的突出特点：

一款全方位的3D光学测量仪

InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。

**和高效

LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。

高分辨，高可重复性和可溯源

即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率

高测量速度

InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。

模块化和可扩展性

新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合

全自动

测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的主要技术参数：

位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构

**样品高度：100mm ～ 345mm

**样品重量：30kg

**水平分辨率：0.44μm

**垂直分辨率：10nm

**扫描高度：22.5mm

**扩展视野范围：10000mm2

**单一方向扫描范围：100mm

测量速度:170万个测量点/秒

*小测量高度：0.01μm

**测量高度：22.5mm

**测量范围：10000mm2

**测量形貌长度：100mm

*小可重复性：0.001μm

*小测量粗糙度（Ra）：0.03μm

*小测量粗糙度（Sa）：0.015μm

*小测量半径：1μm

*小测量垂直角度：20°

**测量倾斜角度：87°

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5比InfiniteFocus G4拥有更优越的性能

测量速度增加20倍

自动设置

适用更多材料及更复杂表面的测量

更稳定，更精密的测量

测量精度更高，尤其对于大范围面积样品的测量