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产品名称 | CM100膜厚仪 |
主要特点 | 1.操作简单,使用方便 2.测量快速、准确 3.体积小、重量轻,便携式 4.高性价比无损测量 |
技术参数 | 1.光谱范围:370-1000nm 2.光谱分辨率:1.6nm 3.测量光斑:典型1.5mm 4.**样片厚度测量范围:15nm- 100μm 5.膜厚测量重复性:0.1nm 6.测量膜层数目:4层 7.准确度:2nm或0.4% 8.单次测量时间:典型1-2秒 |
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