技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。

在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:

测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头

扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描

**样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制

XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um

扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨

XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制）

Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，**0.06nm）

光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um

样品温度控制：室温~300℃