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ECHO Pro™ 全自动超声波扫描显微镜 |
全自动生产型: ● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄 ● 编程自动判别缺陷 ● 高产量，无需人员重复设置 ● 自动烘干 SONIX 硬件优势 ● 紧凑、稳定的结构设计 模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护 ● 高速、稳定的马达设计 扫描轴采用***的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描 ● **的超声波探头/透镜 提供精确的缺陷检验，*小能探测到仅0.1微米厚度的分层。 ● PETT技术 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率 |
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