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特色
含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
从低真空到大气压（数 Pa～105Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
概要
样品设置在标准大气压环境下（105Pa）
配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察
而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103～105Pa）进行观察
隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析
搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
图1：大气压或负压观察时
图2：低真空观察时
规格
项目 | 内容 |
|---|---|
电子枪 | 预对中灯丝 |
检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
加速电压 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15～×60，000（使用数码变焦时：×240，000） |
观察压力 | 大气压模式（105 Pa）（装有隔膜时） |
负压模式（约103 Pa～105 Pa）（装有隔膜时） | |
低真空模式（数 Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时） | |
**样品尺寸 | 直径55 mm |
大小和重量 | 主机：330（W）×687（D）×565（H）mm， 67.0 kg（手动操作台） 控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm， 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm， 4.5 kg ×2台 |
材料领域
样品提供：旭化成株式会社 乙部先生
将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分，然后在大气压下进行了观察。
首先观察到纤维之间的水分蒸发，然后是纤维内部的水分蒸发，并因此纤维本身收缩，*后是整个样品收缩的情景。
根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果，得出含水时膨胀30%，和含水时的纤维膨胀率。
试样提供：Zepto Co.， Ltd.
在疏水性优异的此样品中，可看到油渗入纤维内，水分不会渗入，所以可观察到水分在纤维上的情景。
植物领域
光学显微镜观察后，无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。
食品领域
干燥的意大利面
在大气压下观察干燥的意大利面的表面后，在真空中观察同一样品，可观察到表面有大量裂纹。
推测是在真空环境下，样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏，即使是干燥的样品，如果想观察本来的形状，通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。
生物领域
大肠杆菌经过培养后，用纯水稀释，涂抹在塑料板上，用甲醇固定后进行了观察（无染色）。
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