URE-2000/600 紫外单面光刻机

1、设备主要技术指标：

(1)光束口径： 650mm×650mm

(2)有效曝光面积：600mm×600mm

(3)分辨力：≤3μm

(4)对准精度： ±1.5μm

(5)对准显微镜中心距：75mm-600mm 可调

(6)掩模尺寸：650mm×650mm

(7)样片尺寸：可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm，厚度为 0.2mm～20mm 的多种规格样片；

(8)光源不均匀性：≥ 95%（Ф600mm）

(9)掩模相对于样片运动行程：X: ± 15mm; Y: ± 15mm; Z：15mm Thelta: ± 10o

(10)曝光面光强：>15mW/cm2（i、g、h 线）

(11)汞灯功率：2500W（直流）

(12)曝光量设定方式：定时（计时方式 0.1s-9999.9s，设定精度 0.1s）

2．技术主要组成部分

大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由：高均匀照明曝光系统、对准工件台系统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置

如下:

（1）高均匀照明系统包括：

。 冷光椭球镜；

。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台；

。 光学系统：椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 2、蝇眼透镜组、抛物面冷光反射镜；

。 冷却风扇；

。 循环水冷系统。

（2）对准工件台系统包括：

。掩模样片相对运动台；

。 转动台；

。 样片调平机构，自动完成；

。样片调焦机构，自动调整；

。承片台 10 个：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm；

。 掩模夹 1 个：650mm×650mm；

。 抽拉式上下片机构。

（3）CCD 对准系统包括：

。 光源、电源；

。 显微镜工作台；

。 成像光学系统（两套）；

。 数据采集卡；

。 CCD 图像处理部件（两套）。

（4）电控系统包括：

。 大功率汞灯触发电源；

。单片机控制系统；

。 薄膜开关面板；

。 控制柜桌；

（5）气动系统包括：

。 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；

3 。电磁阀驱动部件；

。 气动显示仪表。

（6）其他配套附件

。 真空泵一台（无油泵、SK-65C 型）；

。 空压机一台（静音型、YB-W30 型）；

。水冷机一台（H35W 型）；

。 配套接口管道

3.相关技术资料：

。设备使用及维护说明书

。出厂检验合格证。