DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机

1．技术特征

。采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024×768

。采用 14 倍缩小投影光刻物镜成像。

。采用**技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。

。具备对准功能

。采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm?100mm 基片。

。采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。

2．技术参数

。光源：350W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫外LED；

。照明不均匀性：2%；

。物镜倍率：14 倍

。曝光场面积：1mm×0.75mm

。光刻分辨力：1 μm

。工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm；

。工件台运动定位精度：±0.65μm；

。调焦台运动灵敏度：1μm；

。对准精度：±2μm；

。调焦台运动行程：6mm

。检焦：CCD 检测，检测精度 2 微米

。转动台行程：±6°以上

。基片尺寸

。外径: 。1mm—100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（长）x450mm(宽) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系统

。350W 直流汞灯（或 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD（美国德州仪器）、冷却风扇。

。投影物镜：缩小倍率 14 倍

。分辨力 1μm

（2）工件台系统

。X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅（美国）

。Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导轨 2（日本 THK）、光栅 2（美国）

。转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系

。Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构

。承片台：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）检焦系统

。焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件

（4）对准系统

。对准光学检测系统、CCD、对准软件

（5）电控系统

。汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器（19 英寸液晶）、接口

（6）气动系统

。电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

（7）其他附件

。真空泵一台(无油泵)

。空压机一台（静音泵）

。管道