电子光学系统

分辨率

15nm（30kV， 二次电子成像）

放大倍率

20x~60，000x

加速电压

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探测器

二次电子探测器（SE）

电子枪

预对中钨灯丝

载台系统

载台运动

3轴系统 (X， Y， R)

X， Y-轴: 40mm / R-轴: 360°

* 影像偏移 : ±150μm

* Tilt-轴 : 0~45°（选配）

**样品尺寸

70mm（Φ）*30mm（H）

成像系统

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比度与亮度

图像格式

BMP， JPEG， PNG， TIFF

真空系统

真空模式

高真空

真空泵

旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动）

尺寸与重量

主机

390(W)x380(D)x560(H)mm， 83kg

控制单元

390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg

旋转泵

400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg