罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种容积式干式真空泵，是目前获得中、高真空的主要抽气设备之一，其工作原理与罗茨鼓风机相似，是利用两个8字形转子在两个半圆形的泵腔内作同步反向转动，从而完成吸气和排气的过程。该泵不能单独使用，必须与前级泵(如螺杆泵、水环泵等)串联使用。罗茨泵的极限压力由前级泵决定，表中数据是以螺杆真空泵为前级泵时的*低极限压力。

罗茨泵特点:

1、高压缩比：转子采用宽头部**型线，密封带宽，获得高压缩比。能在很宽的压强范围内(1~1x10^Pa)有较大的抽速。

2、清洁环保：泵腔无油，侧盖采用**密封，避免了油蒸汽污染真空系统。

3、运行高可靠性：**轴封，避免被抽介质进入轴承腔，造成润滑油乳化失效。

4、低振动:转子作G1级动平衡，振动小，噪声小。

5、整体无定位销组合，O形密封圈密封，易于维护和维修，费用低，寿命高。

6、高标准配置：进口轴承、5级齿轮、德标联轴器，可抽除可凝性气体。

7、不可单独使用，必须配置前级泵。

建议:罗茨真空泵长期工作时，视规格大小，**进出口压差控制在15~20Torr之间。

ZJ、ZJP型泵性能基本参数表