真空腔体(箱体)

圆筒型真空箱体

矩形真空箱体

D型真空箱体

球型真空箱体

多边形真空箱体

钟罩型真空箱体

大型真空箱体

铝合金真空箱体

真空模组与系统

真空腔体配件零组件

不论是真空镀膜或是表面分析等作业都需要在真空腔体(箱体)内完成，真空腔体(箱体)的品质亦为真空设备性能好坏之关键因素之一。 Htc日扬真空具有制造各式客制化真空腔体(箱体)加工制造的经验，可以根据客户不同的需求来设计和制造，例如大学实验室的表面分析用超高真空系统(UHV system)，真空度要求达到10^-10 torr，薄膜太阳能电池的特殊制程腔体，基板温度须达到600℃，真空腔体(箱体)的冷却设计就非常重要。

真空腔体(箱体)常用的材料有不锈钢、铝合金、碳钢等，形状有矩形、圆筒型和多边形，表面处理有喷砂、抛光、电解抛光等，另外也可以依照客户的需求进行热处理应力消除或是振动应力消除，Htc日扬真空亦具有大型真空腔体(箱体)系统组装能力，可以将真空腔体(箱体)设计制造加工的服务延伸至真空模组或真空系统整合或半导体产业、光电面板产业、太阳能产业所需真空制程设备，为客户提供更完整的真空制程解决方案。

Htc日扬真空所制造真空腔体(箱体)有以下优势：

1. 真空零件制造经验丰富，各种规格真空零件库存齐全可供真空腔体(箱体)制造时使用

2. 加工能力及场地完整，厂内即可完成板料切割、机械加工、焊接、清洗、组装及测漏等工程

3. 使用先进3D设计软体，方便与客户沟通及现场加工

4. 公司有真空泵Pump维修团队，可提供备份真空泵Pump得以迅速完成大型真空腔体箱体的抽气及测漏作业

Htc日扬真空使用设计结构分析仿真图来分析半导体使用的真空腔体、真空涂层设备、光学真空镀膜以及真空系统设备内的金属化建模。