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用途
主要用于石英制品的真空脱羟工艺。
特点
★合理空间模块化标准设计
★双层水冷炉体,高质量材质,设备整体达到电子洁净级
★方形╱圆形加热室设计,金属反射屏(钨钼)，360度辐射加热
★高真空干式真空机组，彻底解决加热室与真空腔体污染现象
★外置式换热循环系统,提高生产效率
技术参数
| 型号 | PZ-TQ336 | PZ-FS337 | PZ-FS448 | PZ-FS4412 | PZ-FS5515 |
| 有效尺寸(mm) | 300×300×600 | 350×350×700 | 400×400×800 | 400×400×1200 | 500×500×1500 |
| 承载量(kg) | 120 | 200 | 300 | 400 | 600 |
| **温度(℃) | 1300 | ||||
| 升温速度（℃） | 可控 | ||||
| 均温性(±℃) | ±3 | ||||
| 极限真空(Pa) | 4.0X10-1 | 6.7x10-3 | |||
| 压升率(Pa/h) | 0.67 | ||||
| 适用介质 | 氮气(N2) | 氩气(Ar) | |||
| 烧结工艺 | 真空 调压烧结（分压；微压） | ||||
| 冷却工艺 | 真空，封闭(加压) 强制(加压) | ||||
| 脱脂工艺 | N2负压 H2大气压 | ||||
| 气压冷强 (bar) | 2 | ||||
| 控制方式 | 手动 自动 | ||||
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