Exicor® AT 系列是美国 Hinds Instruments 推出的台式高精度双折射测量系统，专为半导体晶圆、光掩膜、光学薄膜等材料的应力与双折射检测设计，是半导体制造、光学材料研发领域的核心检测设备。

系统搭载行业标杆级 PEMLabs™光弹性调制器与 Signaloc™锁相放大器，实现 0.001nm 延迟分辨率、±0.015nm 超高重复性，0.01° 角分辨率，可同时精准测量双折射大小与角度，具备****的低级别双折射检测灵敏度。标配 Scan in Motion™高速扫描技术，支持网格间距小于 1mm 的高空间分辨率全域扫描，**可达 100 样本 / 秒的检测速度，大幅提升检测效率。

设备采用无移动光学部件设计，测量过程无需反复调整，从根源提升检测准确性；分台式与重型两大系列，120AT/150AT/250AT 为紧凑台式设计，300AT/500AT 为重型自动化 XY 工作台，适配大尺寸样品检测，三面便捷上台加载设计，操作高效。配套直观易用的分析软件，支持双轴晶格 2D/3D 可视化、自动映射与高级数据分析，可直观呈现样品全域应力分布，是半导体晶圆检测、光掩膜质量评估的理想工具。