Filgen OPC80T 是日本 Filgen 推出的锇等离子镀膜机，采用 DC 等离子辉光放电的负辉区等离子 CVD 技术，在样品表面沉积分子级无颗粒非晶态锇导电膜，**解决传统溅射镀膜的颗粒感、热损伤、荷电效应等痛点，为 SEM、TEM、AFM、SPM、FIB 等电镜制样提供清晰无干扰的成像解决方案。

核心优势

1. 无颗粒、无热损伤、无荷电：室温下沉积分子级非晶态锇膜，不损伤样品微观结构，彻底消除荷电效应，真实还原样品表面形貌

2. 多膜层功能，一机多用：可沉积锇导电膜、萘等离子聚合膜，可选配超薄膜、亲水化、深阱电极等功能，适配 FIB 防护、TEM 载网改性等多场景

3. 全流程自动化，操作简单：设置参数后一键启动，膜厚由设定值直接控制，无需依赖放电时间，镀膜时间仅需数秒至数十秒

4. 多重安全防护，杜绝试剂暴露：配备锇吸收过滤、反应腔互锁、断电防漏、安瓿切割器等安全结构，无需额外通风设施，实验室使用更安全

5. 易维护，易换料：可拆卸式锇储瓶，带观察窗和内置安瓿切割器，方便试剂更换与余量检查，维护成本低

6. 高兼容性：适配各类绝缘样品、生物样品、高分子材料，支持 FE-SEM 超微结构观察、ESCA 表面分析等高端表征

技术参数

OPC80T 型号电源为 100VAC 单相，整机尺寸 450×410×390mm，重量约 30kg，反应腔为玻璃腔室，**样品尺寸 44×44×4mm，支持 10mm×2pcs 或 32mm×1pcs 样品台，可沉积 0.1nm 级超薄膜与 1nm 级常规膜，配备自动化真空控制系统与锇吸收真空泵。

应用场景

• 电镜制样：SEM/TEM 样品导电镀膜，消除荷电效应，提升成像清晰度

• FIB 制样：样品表面防护膜制备，防止样品剥离与损伤

• 材料表征：绝缘材料超微结构观察、表面成分分析

• 生物样品：无热损伤镀膜，保护生物样品结构

• 电子器件：半导体、高分子材料的表面改性与防护