在半导体制造、真空热处理、化工真空工艺等场景中，高洁净、高可靠性的真空环境是保障产品质量与工艺稳定的核心。传统油式真空泵易产生油污染，维护成本高，难以满足高洁净度、连续运行的需求，成为高端制造的瓶颈。

樫山工业 SD 系列干式螺杆真空泵，为高洁净真空环境提供了一站式专业解决方案。这款设备继承了樫山工业经典的高工艺耐性，通过全新的散热系统与特殊耐蚀材料，进一步强化了过程适应性，可适配宽幅温度波动的各类严苛工艺场景；实现了行业**的小型化设计，20000L/min 级机型 footprint 较传统机型削减 35%，大幅节省安装空间；同时完成深度低功耗优化，显著降低运行成本。

设备覆盖 10000~100000L/min 全量程排气速度，SDX 节能型、SDT/SDH 高工艺耐性 / 超级热处理型多型号可选，满足不同工艺需求；通过 SEMI/CE/NRTL 全规格认证，高可靠性设计适配连续工业运行；搭载万向脚轮，移动便捷，安装灵活。从半导体晶圆制造的高洁净真空，到真空热处理的高温工艺，樫山 SD 系列干式螺杆真空泵都能提供稳定、洁净、高效的真空支持，是高端制造真空工艺的核心设备。