Hinds Instruments Exicor® HD 系列双折射测量系统，是美国 Hinds Instruments 专为重型、大尺寸样品打造的高精度双折射评估平台，核心基于 Exicor 低阶双折射测量技术与自动化运动控制，**解决半导体晶圆、光掩膜等超大样品的双折射检测难题。

系统采用全钢底座设计，大幅提升测量效率与稳定性，支持从 400mm 到 2000mm 全尺寸**样本量，可承载** 5400kg 的重型样品，完全适配工业级大尺寸器件的批量检测。搭载 PEMLabs™光弹性调制器，支持 632.8nm 等定制光源，测量速率** 100 pps；测量斑点直径可低至 < 50μm，减速范围覆盖 0.005 到 300 + 纳米，延迟分辨率达 0.001 纳米 /±0.015 纳米，角分辨率 0.01°，实现亚纳米级超高精度测量。

系统配备直观的自动化扫描软件，支持正面和头顶双加载选项，可一键量化研磨量、损伤值与双折射分布，结合可选高分辨率探测器模块，实现原生小于 1mm 的精细测量。广泛应用于半导体晶圆、光掩膜、光学镀膜、玻璃基板、大尺寸光学元件等行业的双折射、应力分布深度评估，是高端光学制造领域的核心精密测量设备。