Exicor 大尺寸面板双折射应力检测系统，是美国 Hinds Instruments 专为显示面板、超大尺寸光学元件研发的高端检测设备，填补了大规格光学材料应力与双折射的精准检测空白，是面板制造、光学加工、半导体光刻领域的核心质控设备。

系统搭载超大型自动化龙门式工作台，可适配从中小尺寸光学元件到超大尺寸面板的全规格检测需求，采用行业**的 PEMLabs™弹性调制技术与 Signaloc™锁相放大方案，实现 0.01nm 延迟分辨率、±0.08nm 重复性，0.01° 角分辨率、±0.5° 重复性的超高检测精度，彻底解决大尺寸元件检测的精度衰减问题。设备支持双轴晶格 2D/3D 全幅可视化分析，内置应力估算算法，可直观呈现面板全域应力分布；可选高速动态扫描、定制化夹具、自动化无人值守方案，支持多班次连续运行，适配面板量产线、光学元件实验室等多场景需求。

区别于传统 DUV 光刻专用型号，本系列专为大尺寸显示面板、超大光学元件设计，适配非深紫外场景的高精度检测，为面板良率提升、光学元件质量管控提供全流程解决方案。