日本 FLOVEL TOMOS-80XY 电动 XY 平台双面显微镜系统，是专为半导体晶圆、MEMS、大尺寸电子元器件打造的全自动高精度双面检测设备，搭载 200×200mm 大行程电动 XY 平台与自动对焦功能，可实现预设测量点位自动移动、双面同步拍摄、全自动位置偏移与尺寸测量，彻底解放人工，适配无人化产线检测需求。

设备搭载双 320 万像素 CMOS 相机（彩色 / 黑白可选），支持 5/10/20 倍物镜切换，Z 轴 ±10mm 焦距调节并集成自动对焦；配备双路白色 LED 照明（软件控制正立 / 倒立），适配落射、透射、复合照明模式，清晰呈现样品表面与深层特征。内置表裏光轴补偿、镜头倍率补偿、相机角度补偿等功能，精准校正双面光路，实现无失真测量；支持自动边缘检测、中心坐标提取、位置偏移计算、双面图像合成，可批量完成多点位自动测量，生成地图式检测报告，彻底消除人工测量误差。

设备搭载 Windows 11 Pro 控制系统，支持竖屏双画面同步显示、测量数据自动输出、地图制作、连续移动测量等功能；支持软件与样品夹定制，可根据工件形状定制专属夹具与测量算法，广泛应用于半导体晶圆、水晶振子、MEMS、电子元器件等的双面位置偏移、尺寸测量、外观缺陷检测，是半导体高端制造与自动化产线的核心检测设备。