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产品简介
日本 FLOVEL TOMOS-50 紧凑型双面位置偏移测量显微镜系统,是专为电子元器件、半导体、MEMS 等产品打造的高精度双面检测设备,可实现表裏两面同时摄影、尺寸测量、位置偏移测量,**解决传统单目显微镜无法同步检测双面的痛点,实现高精度、低成本的自动化检测。
设备搭载双 1/1.8 型 CMOS 相机(300 万像素,黑白 / 彩色可选),支持 5/10/20/50 倍物镜切换,XY 行程 100×100mm,可覆盖大尺寸样品检测;采用白色 LED 照明(落射 / 透射 / 落射 + 透射可选),支持正立 / 倒立软件控制,适配不同样品的照明需求。内置表裏光轴补正功能,以微米级精度校正表裏光轴,实现 ±0.2μm 以下的重复精度,精准测量表裏位置偏移;支持双面图像合成、自动边缘检测、自动尺寸 / 位置偏移测量,彻底消除人工测量误差,提升检测效率。
设备采用 CameraLink 图像输出,搭载 Windows 11 控制系统,支持双画面同步显示、图像滤波、动画录制等功能;紧凑机身设计,可作为装置组込用双面显微镜模块,适配自动化产线集成。广泛应用于水晶振子、MEMS、インクジェットノズル、半导体电子部品等的表裏位置偏移、尺寸测量,是电子元器件质量管控的核心检测设备。
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