Exicor OIA 是美国 Hinds Instruments 推出的斜入射式光学元件双折射测量系统，专为正入射 / 斜入射场景下的透镜、平行面 / 曲面光学元件检测设计，基于行业标杆级 PEM 照片弹性调制技术，是下一代光刻透镜、高价值光学元件研发与质控的核心设备。

系统采用偏振电磁波调制技术，精准测量光学元件对光束偏振态的改变，实现 0.001nm 延迟分辨率、±0.03nm 重复性（VIS 波段），0.01° 角分辨率、<±0.5° 重复性，可精准评估双折射、快轴方向与理论残余应力。支持自动扫描平行平板、球面透镜，手动宏程序扫描非球面元件，生成 2D 阻尼 / 快轴方向图与全域扫描统计，搭配可从上方自由访问的样品台，适配大尺寸、异形光学元件检测。设备内置紫外线 / 激光封闭安全联锁、紧急停止、状态指示灯塔，保障操作安全，配套专业工作站与分析软件，可直观呈现 3D 应力分布，适配半导体光刻、光学材料研发、精密光学制造等高端场景。