碳化硅外延晶片

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中国粉体网讯碳化硅外延晶片是指在碳化硅衬底的基础上，经过外延工艺生长出晶格一致、高纯度、低缺陷的特定单晶薄膜。碳化硅外延片是制作功率器件的基石和器件发挥效能的核心。与传统硅功率器件制作工艺不同，碳化硅功率器件不能直接制作在碳[更多]