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推荐上海微系统所：“离子刀”大尺寸晶圆异质集成技术新突破

中国粉体网讯 近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所硅基材料与集成器件实验室蔡艳研究员、欧欣研究员联合团队，在通讯波段硅基铌酸锂异质集成电光调制器方面取得了重要进展。团队成员利用上海微技术工业研究院标准180nm硅光工艺[更多]

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