中国粉体网讯 氧化铝陶瓷是集成电路制造核心装备不可或缺的重要绝缘材料之一,随着芯片制程升级,氧化铝陶瓷的纯度和性能要求也不断升级。目前半导体装备用氧化铝陶瓷纯度基本在99.5%以上,刻蚀级氧化铝陶瓷的纯度达到99.8%以上,[更多]
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