中国粉体网讯  计算机、电源设备、LED灯、互联网、太阳能电池……所有这些设备都离不开半导体的使用。而由特种石墨材料制成的部件在半导体生产过程的许多环节中起着不可或缺的作用。半导体晶体生长无论是硅的CZ法、蓝宝石的HEM法还是碳化硅单晶生长的PVT法，所有长晶工艺都是在高温、侵蚀性环境下运行。因此工业晶体生长炉的热区通常配备耐热和耐腐蚀石墨部件。用于硅晶体生长的石墨部件用于半导体应用的硅晶体是通过CZ法或浮区法在工业规模上生产的。虽然浮区炉中通常不使用或仅使用极少石墨部件，但CZ法严重依赖高纯度石墨部件及石墨绝缘材料，包括由石墨制成的耐热且耐腐蚀的坩埚、加热器、隔热层及绝缘部件等。单晶硅的生长过程：特殊的高温炉首先将净化后..【详细】