STORM 2000SLH是维普针对于大尺寸Mask开发的缺陷检测设备，适用于LCD、TFT、CF、Touch Panel等大尺寸Mask光刻后的图形缺陷检测。采用先进的光学成像与软件系统，可支持DB、DD、SL等检测模式，针对大尺寸Mask shop客户，具备高精度、高效率、易使用等重大优势。

为G8.5及以下尺寸的Mask，提供高效的表面缺陷检测方案，满足0.5um的缺陷检测能力。

关键特性

**支持8.5代面板尺寸

支持Loader自动上下片，支持与AGV对接

自适应支持多种规格的基板尺寸

支持DD、DB、SL检测模式

支持双光学头扫描，极大提高检测效率