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产品分类
产品简介
技术特点
采用DPSSL 355nm光源
支持8-130英寸幅面
超高精密系统
高精度环控系统
主动式隔振系统
高精度气浮运动平台
高速图形化
频闪平铺光斑曝光
3D导航自动聚焦
规格参数
* 具体指标因工艺差异有所不同
应用示例
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苏州苏大维格科技集团股份有限公司