STORM 3000U是维普新一代针对IC Mask基板缺陷检测产品，基于已被认可的STORM 3000平台架构，在光学成像、传输及缓存进行相应的优化、以提升易用性及降低设备成本。适用于Mask Blank基板生产、出货及Mask shop来料检测需求，针对200nm检测精度，具有高效率、易使用、低成本等重大优势。

应用场景

为IC Mask基板制造、IC Mask shop来料检测提供高效、低成本的检测方案。

关键特性

• 基于激光的超高分辨率光学系统

• 支持SMIF Pod自动上下料

• 支持颗粒、划伤、针孔、脏污检测

• 支持自动Review及缺陷分类

• 支持抛光板、铬板及匀胶后检测

• 支持基板自动分级及缓存