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产品简介
公司为LED、光伏、半导体、冶金、电子等行业的MOCVD装备、单晶硅炉、PECVD炉、单晶SiC炉、单晶CaN炉及第三代半导体外延炉、氧化炉、离子注入机、刻蚀机等关键装备提供耐温、耐腐、高纯零部件/耗材,并为用户产品质量优化、设备性能提升提供高温高纯材料/部件解决方案。
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